失落30年重振之路 半導體設備成最大優勢

30年前日本半導體產業擁有材料、設備的優勢,發展快速,不過從1986年後,卻漸漸式微,被我們台灣和韓國超越,不過,近幾年四本政府也意識到,沒有半導體就難以拓展汽車工業的發展,開始大力挹注資金要重振半導體,尤其在半導體設備輕重的地位,其中日商的塗布顯影,更掌握將近100%的市占率,成為日本振興半導體的重要立基點。圖/TVBS

圖/TVBS

從市區一路往北走,抵達黑川郡大和町,這裡正是日本半導體蝕刻技術大本營。

尤其是這台看似不起眼的白色機台,可是半導體晶片製程的主要命脈。

資深記者劉俐均:「TEL集團在日本有多個據點,像是九州熊本就是塗布顯影,另外在宮城縣這邊,就是以蝕刻設備為最主要的設備機台。」

日商東京威力科創,擁有沉積、塗佈顯影、蝕刻、清洗四大連續製程設備,也是晶圓片進入EUV曝光前的重要步驟,其中最核心、最新的蝕刻機台都集中在宮城縣,台灣工程師也得搶名額,到宮城廠見習。

日商半導體設備廠台籍工程師Andy:「日本的研發中心不只是日本自己,也有跟美國的研究中心,還有歐洲的研究中心做一些連結,很多新的技術跟新的設備,都是在工廠這邊開展,一個設備的研發會經過怎樣的流程,這個部分也是在日本工廠的研究中心這邊才可以看得到的。」


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